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超精密三坐標測量機整機結構設計
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  • 更新時間：2014-05-25
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  • 超精密三坐標測量機整機結構設計

  • 摘 要
    本文中，對三坐標測量儀的研究現狀和精密測量的關鍵技術做了總結，對所設計的測量儀的總體布局、床身的選材、導軌的設計、進給方式的選擇做了介紹，選用燕尾型氣體靜壓導軌，同步齒形帶和鋼帶傳動，摩擦桿進行驅動。對移動橋和溜板進行了簡單的ANSYS分析，計算了移動橋受力時最大的變形量和直線度；選用伺服電機作為動力源，并對其進行了簡單的功率計算，分析了測量儀的工作環境對其精度的影響和它的應用環境；定位采用開式光柵尺，對光柵尺的選型做了比較。最后針對測量儀整機進行精度分析，查找誤差源和精度的綜合分析。
    關鍵詞：超精密、氣靜壓、高精度、精密測量
    目 錄
    1 緒 論 2
    1.1 課題的來源 2
    1.2 課題的意義 2
    1.3 精密測量的研究現狀 2
    1.4 精密測量的關鍵技術 6
    2 超精密三坐標測量儀整機機構介紹 8
    2.1 總體布局 8
    2.2 床身材料選用 9
    2.3 導軌的設計 10
    2.4 進給傳動方式的選擇 14
    2.5 測量儀整體結構設計 16
    2.6 測量儀的工作原理 17
    3 測量儀的主要零部件的設計 18
    3.1 移動橋的設計 18
    3.2 溜板的設計 19
    3.3 電機選型 21
    3.4 環境控制平臺 25
    3.5 光柵尺的選型 26
    4 測量儀精度分析 27
    4.1 測量儀誤差源 27
    4.2 測量儀精度分析 29
    5 結束語 32
    參考文獻 33
    致 謝 34
    ...
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